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DB701高精度固晶设备 价格: 编号:DB701

型号特点:1、实际量产精度可达到±5um,UPH≈1000pcs;2、主运动轴全部采用高精度直线电机加光栅尺设计;3、多晶环设计,可一次贴装多颗芯片

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技术参数

Chip

MPD, PD,TEC,垫块,TIAIC,电容电阻等

X-Yaccuracy

±5um,3σ

Angleaccuracy

1o ,3σ

Cycle time

< 3s

Bond force

20-150g

Base

COB/BOX/HDMI

Wafer size

MAX 12"

Air

5Kgf/㎠ 以上 (100L/Min)

Dimension (W*D*H)

L = 1450mmW = 1100mmH = 1800mm

Weight

About 1000Kg


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